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检测晶片盘转台的转动状态

检测晶片盘转台的转动状态

在晶片盘放置位上，底座转台侧面安装SL系列槽型光电，检测晶片盘转台的转动状态，精度达到0.01mm。当转盘完成设定范围内的动作后，槽型光电感应发送信号指示进行下一个动作。

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